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高純氦氣在氦質譜檢漏技術中的應用原理
氦質譜檢漏儀用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。是一種使用于國內外的真空容器檢漏先進技術。與一般的檢漏技術比較，氦質譜檢漏技術快速、準確、靈敏度高及無損傷性等長處。氦質譜檢漏儀的示蹤氣體也可所以其他元素。但一般選用氦氣，因為氦氣具有以下特性：
1、氦氣在空氣中的含量很少，只占約二十萬分之一，易于發現；
2、氦分子小、質量輕、易擴散、比其它氣體易穿越漏孔；
3、氦離子荷質比小，易于進行質譜分析；
4、氦氣是無毒、無味，對大氣沒有污染。
5、氦氣是惰性氣體，化學性質安穩，不會腐蝕和損傷設備；
6、氦氣無毒，不凝聚，很難容于水。
正因為氦氣具有以上特性，所以氦氣檢漏使用已從科研院所到工業企業乃至到個別企業，可以說使用領域十分廣大
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