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高純氣體(Purified Gases)氣體工業名詞，通常指使用現代提純技能能達到的某個等級純度的氣體。
概述
高純氣體關于不同類別的氣體，純度目標不同，例如關于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而關于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；關于碳氫化合物，純度為99.99%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域極寬，在半導體工業，高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。
高純氣體根據分子結構的不同能夠分為有機高純氣體，和無機高純氣體
有機高純氣體
烷烴類：
甲烷、乙烷、丙烷、環丙烷、正丁烷、異丁烷、正戊烷、新戊烷、氯甲烷、氯乙烷、三氟甲烷、環氧乙烷、砷烷、磷烷、硼烷、硅烷等；
烯烴類：
乙烯、丙烯、丙二烯、1-丁烯、異丁烯、反-2-丁烯、順-2-丁烯、1.2-丁二烯、1.3-丁二烯、氯乙烯等；
炔烴類：
乙炔、1-丁炔、2-丁炔、甲基乙炔、乙烯基乙炔等；
其他：
二甲醚、甲硫醇、熏蒸劑等
無機高純氣體he
1、空氣、氫氣、氧氣、氮氣、氬氣、氦氣、氖氣、氪氣、氙氣等；
2、氨氣、氯氣、二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、二氧化氮、氧化亞氮、氧硫化碳、氯化氫、溴化氫、硫化氫等；
3、三氟化硼、三氯化硼、四氟化碳、四氟化硅、 四氯化硅、六氟化硫等
常見高純氣體的用途
環氧乙烷可用作生產增塑劑、潤滑劑等；
氯甲烷是重要的甲基化劑，還可作致冷劑、發泡劑等；
氯乙烷可用作煙霧劑、冷凍劑、汽油抗震劑、部分麻醉劑；
二甲醚可作噴氣推進劑、制冷劑、麻醉劑；甲硫醇用于合成染料、醫藥、農藥；
乙炔可直接用于金屬切割焊接、原子吸收；乙烯基乙炔主要作為氯丁橡膠原料等
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