高純氦氣在氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)中的應(yīng)用原理

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。是一種使用于國(guó)內(nèi)外的真空容器檢漏先進(jìn)技術(shù)。與一般的檢漏技術(shù)比較，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)快速、準(zhǔn)確、靈敏度高及無損傷性等長(zhǎng)處。氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體也可所以其他元素。但一般選用氦氣，因?yàn)楹饩哂幸韵绿匦裕?/span>

1、氦氣在空氣中的含量很少，只占約二十萬(wàn)分之一，易于發(fā)現(xiàn)；

2、氦分子小、質(zhì)量輕、易擴(kuò)散、比其它氣體易穿越漏孔；

3、氦離子荷質(zhì)比小，易于進(jìn)行質(zhì)譜分析；

4、氦氣是無毒、無味，對(duì)大氣沒有污染。

5、氦氣是惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)安穩(wěn)，不會(huì)腐蝕和損傷設(shè)備；

6、氦氣無毒，不凝聚，很難容于水。

正因?yàn)楹饩哂幸陨咸匦?，所以氦氣檢漏使用已從科研院所到工業(yè)企業(yè)乃至到個(gè)別企業(yè)，可以說使用領(lǐng)域十分廣大

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